軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現(xiàn)了高的能量分辨率。
和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的高能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。

軟X射線分析譜儀系統(tǒng)簡介

最新開發(fā)設計的分光系統(tǒng)，不需移動衍射光柵或檢測器（CCD）就能同時獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態(tài)分析分佈圖

SXES、WDS、EDS的比較

各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖

即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發(fā)生重疊，需要采取去卷積的數(shù)學方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。

比較表

鋰離子二次電池（LIB）分析實例

能觀察到LIB的充電量

充滿電后Li-K樣品的譜圖

說明: 由于理論上的原因，氧化鋰的檢測很困難
 

輕元素的測試實例

SXES測試碳素化合物的實例

可以測試金剛石、石墨、聚合物的不同。

各種氮素化合物的測試實例

氮素也可以根據(jù)波形分析化學結合狀態(tài)。 硝酸鹽和氮化物的波形不同，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的波形。